Se voidaan valmistaa reagoimalla fluorivetyä, HF, arseenitrioksidin kanssa:
6HF + As2O3 → 2AsF3 + 3H2O
Sen molekyylirakenne on kaasufaasissa pyramidimainen, mikä on myös kiinteässä aineessa. Kaasufaasissa As-F-sidoksen pituus on 170,6 pm ja F-As-F-sidoksen kulma 96,2°.
Arseenitrifluoridia käytetään fluorausaineena ei-metallikloridien muuntamisessa fluorideiksi, tässä suhteessa se on vähemmän reaktiivinen kuin SbF3.
AsF4-anionia sisältäviä suoloja voidaan valmistaa esimerkiksi CsAsF4. KF:stä ja AsF3:sta valmistettu kaliumsuola KAs2F7 sisältää AsF4- ja AsF3-molekyylejä, joissa on viitteitä AsF3-molekyylin ja anionin välisestä vuorovaikutuksesta.
AsF3 reagoi SbF5:n kanssa. Saatu tuote voitaisiin kuvata ioniseksi yhdisteeksi AsF2+ SbF6-. Kirjoittajat päättelevät kuitenkin, että muodostunutta tuotetta ei voida pitää pelkästään ionisena yhdisteenä eikä kokonaan neutraalina adduktiona AsF3SbF5. Kiderakenteessa on sekä ioniparin että neutraalin adduktin ominaisuuksia, ja se sijoittuu molempien mallien välimaastoon.