三フッ化ヒ素

フッ化水素（HF）と三酸化ヒ素を反応させることにより調製できる：

6HF + As2O3 → 2AsF3 + 3H2O

気相ではピラミッド型の分子構造を持ち、固体中にも存在している。 気相ではAs-F結合長は170.6pm、F-As-F結合角は96.2°です。

三フッ化ヒ素は非金属塩化物のフッ化物への変換のためのフッ化剤として使われますが、この点ではSbF3より反応性は低くなっています。